歡迎來到無錫賽默斐視科技有限公司
7x24小時(shí)服務(wù)熱線：18112358302（甄經(jīng)理）
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品牌型號(hào)： 賽默斐視
檢測對象： 薄膜/鍍膜/涂布等
厚度范圍： 10納米-100微米
檢測精度： 0.1mm(取決于相機(jī)數(shù)量、產(chǎn)線幅寬及車速)
軟件功能： 提供針對客戶在線系統(tǒng)的定制檢測系統(tǒng)
現(xiàn)代薄膜涂布鍍層工藝在進(jìn)行在線生產(chǎn)過程中，需要對膜厚及涂層厚度進(jìn)行實(shí)時(shí)的在線測厚，由于傳統(tǒng)的射線類膜厚檢測儀檢測精度低、易偏移、難于校準(zhǔn)等缺點(diǎn)給實(shí)際的工藝產(chǎn)品質(zhì)量控制造成了很大的影響，SIMV涂層(膜厚)在線測厚儀，采用納米光學(xué)干涉的方式，可同時(shí)對20層不用涂層、薄膜進(jìn)行同時(shí)測量，同時(shí)精度高達(dá)1nm，完美的解決了傳統(tǒng)射線類在線測厚儀有輻射、偏移周期長、檢測精度低、不能檢測涂層厚度的缺點(diǎn)。賽默斐視涂層厚度在線測厚儀檢測精度高，同時(shí)能夠?qū)崟r(shí)在線自動(dòng)校準(zhǔn)，有效的保證了在線測厚儀的檢測精度。
【檢測原理】
當(dāng)特定波長的光通過不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)時(shí)，經(jīng)過表面及內(nèi)部多次反射之后形成的光譜條紋是完全不一樣的，系統(tǒng)通過分析所接收到的反射光的光譜干涉條紋特性，與系統(tǒng)庫中的光譜曲線進(jìn)行匹配和對比，同時(shí)進(jìn)行特征曲線的仿真和擬合，進(jìn)而對每種不同成分厚度的涂層進(jìn)行在線測量。
1.入射光在膜的上下表面發(fā)生多次反射。
2.反射光的強(qiáng)度和薄膜折射率，基底(substrate)折射率及膜厚，波長有關(guān)。
3.在已知折射率的情況下，根據(jù)測量出的反射光強(qiáng)和波長的函數(shù)，計(jì)算出膜厚。
由上面兩張圖片對比可以發(fā)現(xiàn)，特定波長的光經(jīng)過某種不同的材料(不同厚度、密度、類型)內(nèi)部反射之后所產(chǎn)生的光譜干涉條紋完全不同，如上圖圖中黑色線條部分，根據(jù)每種干涉條紋與系統(tǒng)庫中的條紋進(jìn)行對比仿真擬合，從而檢測出實(shí)際的材料厚度。
【系統(tǒng)功能】
| 序號(hào) | 功能概述 |
| 1 | 測量鍍膜或涂布厚度，厚度范圍在10納米-100微米，準(zhǔn)確度達(dá)到2納米或厚度0.4%，精度達(dá)到0.1納米，測量穩(wěn)定性0.3納米。 |
| 2 | 精確測量樣品的顏色和在380-780納米可見光范圍內(nèi)的反射率曲線。 |
| 3 | 測量軟件支持20層以內(nèi)的物理模型，并對多個(gè)參數(shù)進(jìn)行同時(shí)測量。 |
| 4 | 具有折射率模型編輯擬合功能，對于100納米-幾個(gè)微米的膜，可以在折射率未知的情況下，結(jié)合軟件對膜厚，折射率參數(shù)進(jìn)行同時(shí)測量。 |
| 5 | 軟件具有對樣品的粗糙度，背面反射，多角度入射進(jìn)行建模的功能 |
| 6 | 軟件還可針對已知樣品的模型，使用不同入射角和偏振進(jìn)行仿真以計(jì)算不同情況下反射率曲線。 |
| 7 | 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫，同時(shí)還支持函數(shù)型(Cauchy,Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。 |
| 8 | 客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測量結(jié)果 |
| 9 | 我們還提供針對客戶在線系統(tǒng)的定制檢測系統(tǒng)。 |
【軟件介紹】
軟件主界面基本示意如下圖所示：
【現(xiàn)場應(yīng)用】
涂層/膠層在線測厚系統(tǒng)在保護(hù)膜、膠帶的現(xiàn)場應(yīng)用如下圖所示。