薄膜表面缺陷在線檢測(cè)系統(tǒng)

　　賽默斐視薄膜表面缺陷在線檢測(cè)系統(tǒng)是一款針對(duì)薄膜表面缺陷進(jìn)行檢測(cè)的系統(tǒng)，在生產(chǎn)中主要用于各種不同種類(lèi)薄膜的缺陷檢測(cè)，包括：氣泡、劃痕、灰塵、斑點(diǎn)等。該系統(tǒng)采用賽默斐視自主研發(fā)的智能圖像處理算法，可有效地識(shí)別膜表面的缺陷，如：氣泡、劃痕、灰塵、斑點(diǎn)等，具有精度高，速度快，可靠性高，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成損壞的優(yōu)點(diǎn)。

　　該系統(tǒng)采用相關(guān)系數(shù)法準(zhǔn)確求出薄膜灰度圖像的最小重復(fù)周期，根據(jù)最小重復(fù)周期確定兩個(gè)比對(duì)圖像塊并求出差值圖像，再將差值圖像二值化再進(jìn)行形態(tài)學(xué)處理，最后經(jīng)過(guò)面積約束條件找出薄膜瑕疵所在位置。充分利用FPGA并行處理的優(yōu)勢(shì)，提高了圖像處理的速度。實(shí)踐應(yīng)用證明，該系統(tǒng)能夠在300 m/min的薄膜生產(chǎn)線上成功檢測(cè)出瑕疵面積僅10個(gè)像素的瑕疵。