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由于傳統(tǒng)的射線類膜厚檢測(cè)儀檢測(cè)精度低、易偏移、難于校準(zhǔn)等缺點(diǎn)給實(shí)際的工藝產(chǎn)品質(zhì)量控制造成了很大的影響，SIMV涂層(膜厚)在線測(cè)厚儀，采用納米光學(xué)干涉的方式，可同時(shí)對(duì)20層不用涂層、薄膜進(jìn)行同時(shí)測(cè)量，同時(shí)精度高達(dá)1nm，完美的解決了傳統(tǒng)射線類在線測(cè)厚儀有輻射、偏移周期長(zhǎng)、檢測(cè)精度低、不能檢測(cè)涂層厚度的缺點(diǎn)。賽默斐視涂層厚度在線測(cè)厚儀檢測(cè)精度高，同時(shí)能夠?qū)崟r(shí)在線自動(dòng)校準(zhǔn)，有效的保證了在線測(cè)厚儀的檢測(cè)精度。
